半導體
半導體設備零組件的精密加工涵蓋石英環、花灑頭噴嘴、支撐管等關鍵零件,這些零件需承受高溫與強腐蝕性化學環境,同時維持極高的潔淨度與精度。豪力輝具備 CNC 車削、銑削、鑽削、磨削等完整工序,能加工各類金屬與硬脆材質(如石英、陶瓷、碳化矽),並廣泛應用於晶圓加工(石英坩堝、石英棒、石英舟)、光刻技術(石英掩模板)、蝕刻與沉積(石英腔室、石英管、石英反應器)以及清洗與純化(石英清洗槽),確保產品符合半導體產業對穩定性、耐久性與潔淨度的嚴格要求。
花灑頭系列
在晶圓清洗、蝕刻及化學機械研磨(CMP)製程中,花灑頭噴嘴需將藥液或去離子水均勻灑布於晶圓表面,以維持穩定流量與一致分布,避免局部沖刷或不均,確保表面平整度與良率。
石英環
石英環廣泛應用於半導體的蝕刻與沉積腔體中,安裝於晶圓邊緣以避免過度加工,使等離子反應更均石英環常包含多段輪廓、倒角與細部槽位,若加工控制不精準,將直接影響反應均勻性與製程結果,因此須達到嚴格的尺寸與表面品質標準。
支撐管
支撐管多用於半導體沉積腔體中,主要負責支撐與定位晶圓或石英環,確保製程結構穩定;支撐管於薄壁或長筒狀加工過程中容易產生裂紋與崩角,加工時必須維持良好尺寸控制,並使圓度、垂直度與同心度保持高度精準。
晶舟
晶舟是半導體製程中承載與定位晶圓的關鍵零件,應用於高溫爐管中的熱處理、氧化、擴散與鍍膜製程。精準排列多片晶圓,確保間距一致並維持氣流與溫度分布均勻,避免受熱不均或污染影響良率。
牙叉
半導體自動化搬運設備中的關鍵末端夾持元件,主要功能是在晶圓的傳送、取放與移載過程中提供可靠支撐,避免滑移、偏移或邊緣刮傷。加工時牙叉前端槽形、厚度與幾何結構必須保持極高精度,才能在高速自動搬運中維持晶圓定位一致性並降低製程風險。
IGBT 均溫板
功率模組散熱系統中的關鍵熱管理元件,其主要功能在於快速導出 IGBT 運轉時產生的高熱通量,並有效均勻熱源溫度分佈,以降低局部熱點並提升模組整體可靠度。IGBT 均溫板多採用銅基材料製作,內部結合真空密封腔體與毛細結構,透過工作流體相變熱傳機制,確保在高功率、高電流與長時間運轉條件下,維持穩定散熱效能與結構完整性。
封裝承載板
封裝承載板為先進封裝製程的關鍵載具,負責承載並精準定位多晶片封裝結構,在高溫與多次製程條件下維持高平整度,確保封裝一致性與可靠度。其廣泛應用於 HPC 與 AI 晶片封裝,有效降低翹曲與熱變形風險,提升封裝系統穩定性。
