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支撐管
支撐管多用於半導體沉積腔體中,主要負責支撐與定位晶圓或石英環,確保製程結構穩定;支撐管於薄壁或長筒狀加工過程中容易產生裂紋與崩角,加工時必須維持良好尺寸控制,並使圓度、垂直度與同心度保持高度精準。
高精度圓筒成形能力
精密孔位與端面加工能力
高潔淨度處理,符合先進製程要求
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