石英環廣泛應用於半導體的蝕刻與沉積腔體中，安裝於晶圓邊緣以避免過度加工，使等離子反應更均石英環常包含多段輪廓、倒角與細部槽位，若加工控制不精準，將直接影響反應均勻性與製程結果，因此須達到嚴格的尺寸與表面品質標準。
