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晶舟
晶舟是半導體製程中承載與定位晶圓的關鍵零件,應用於高溫爐管中的熱處理、氧化、擴散與鍍膜製程。精準排列多片晶圓,確保間距一致並維持氣流與溫度分布均勻,避免受熱不均或污染影響良率。
槽位平面高度一致
高潔淨度、重複性,符合先進製程要求
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