OEMサービス硬くて脆い材料の加工

石英リングは、半導体のエッチングおよび成膜チャンバーで広く使用されています。ウェーハの端に設置することで、過剰処理を防ぎ、プラズマ反応をより均一にします。石英リングには、複数の輪郭、面取り、および詳細な溝が含まれていることがよくあります。処理制御が正確でない場合、反応の均一性やプロセス結果に直接影響します。したがって、厳格な寸法および表面品質基準を満たす必要があります。