ウエハーボート

ウェーハボートは、熱処理、酸化、拡散、薄膜成膜などの高温炉プロセスにおいて、ウェーハの搬送と位置決めを行う上で不可欠な部品です。ウェーハボートは、ウェーハの間隔を正確に確保することで、均一な気流と温度分布を維持し、熱応力や汚染を防ぎ、歩留まりを最適化します。

均一なスロット深さと平面アライメントにより、ウェハの位置決め精度が維持されます。高い清浄度と卓越した再現性により、高度な半導体製造における厳しい要件を満たします。